In line Sputter system 頃斜式/垂直/水平式鍍膜設(shè)備
In line Sputter system 頃斜式/垂直/水平式鍍膜設(shè)備
應(yīng)用領(lǐng)域：
- 光電業(yè)：觸控面板、顯示器…等。
- 建築業(yè)：Low-E 低幅射玻璃。
- 車載：抗反射玻璃（AR）、抗藍光玻璃…。
- 太陽能產(chǎn)業(yè)：CIGS。
- 基板尺寸：G4.5、 G5.5、 G6.5、G7、G8.5 等客製化設(shè)計製造。
- 膜厚均勻性：U%≦ ±3%。
- 基板溫度：RT~400℃。
- 真空：10-6 ~10-7 Torr。
- 靶材型式：平面靶、旋轉(zhuǎn)靶。